Elektronový rastrovací mikroskop JSM-6700F s ultravysokým rozlišením – nástroj pro sledování nanomateriálů a nanostruktur.

Je vhodný pro pozorování jemných struktur, jako jsou multivrstvé povlaky a nanočástice produkované nanotechnologiemi. Díky režimu velmi pomalých elektronů je vhodný i pro pozorování nevodivých vzorků.

Hlavní přednosti:

• Rozlišení 1 nm při primárním napětí 15 kV
• Rozlišení 2,2 nm při primárním napětí 1 kV
• Vysoké rozlišení v rozsahu primárních proudů 1 pA až 2 nA
• Upraven pro detekci pomalých elektronů
• Detekce prvkového složení vzorku

Sestava mikroskopu JEOL-6700F:

• SE detektor v komoře i v tubusu
• Scintilační BSE detektor
• EDX detektor (Inca 350)
• Režim pomalých elektronů

Fotografie mikroskopu

Ukázkové snímky z mikroskopu